測 試 原 理

通過(guò)軟件程序控制，讓x射線(xiàn)發(fā)生路產(chǎn)生適合的x射線(xiàn)去激發(fā)測試薄膜材料中的si 或者其他元素，被x 射線(xiàn)激發(fā)后變?yōu)椴环€定態(tài),高能層的電子會(huì )躍遷到空穴井同時(shí)釋放特定能量被探測器接收,因每個(gè)元素都有自已特定的能量特征線(xiàn),通過(guò)探測器的識別,計算機軟件的計算,即可準確識別該元素,并計算出含量?！H器采用了大面積的品體硅漂移探測器,分辨率能夠達到 125eV,能分辨 AK鋁)元素和si(硅)元素。

技 術(shù) 特 點(diǎn)

測試采用x射線(xiàn)熒光光譜原理,測試過(guò)程無(wú)需耗材

·光管垂直照射,硅元素性能得到更強激發(fā)

測試下限好,可準確測量 0.01ghn' 的涂硅量

·采用大面積硅漂移探測器,測試結果極其準確

配置高清液品顯示器,測試過(guò)程和測試結果一目了然

設備集成多個(gè) u 接口,數據和通訊傳輸滿(mǎn)足多種要求

空氣光路內部環(huán)境得到顯著(zhù)優(yōu)化,大氣環(huán)境一樣可以直接測試

一鍵測試/操作簡(jiǎn)單智能,測試過(guò)程使用時(shí)間更短,結果更準確

快速采用新的模型算法,大大提高了輕元素的測量穩定性